愛德華STPA1303磁懸浮分子泵維修,精工精機(jī)半導(dǎo)體設(shè)備泵保養(yǎng)
愛德華STPA1303磁懸浮分子泵維修,Seiko Seiki STPA1303/STPA1303C日本精工精機(jī)磁懸浮分子泵進(jìn)氣法蘭口VG200/ISO200/ISO200F,出氣法蘭口KF40,抽速可達(dá)到1300L/s,轉(zhuǎn)速為32500rpm,極限壓力10-7Pa(10-9Torr),Seiko Seiki STPA1303 TURBO pump對(duì)應(yīng)的控制器為:Seiko Seiki SCU-A1303C,金華杰精修Seiko Seiki精工精機(jī)全系列分子泵。
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