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真空泵有關(guān)名詞術(shù)語(yǔ)解釋

來(lái)源:慧聰網(wǎng) 作者:不詳 日期:2006/12/21 訪問(wèn): 838

   1、真空的定義

  真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

  2、真空度

  處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。

  3、真空度單位

  通常用托(Torr)為單位,近年國(guó)際上取用帕(Pa)作為單位。

  1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱

  4、托與帕的轉(zhuǎn)換

  1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托

  5、平均自由程

  作無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號(hào)“λ”表示。

  6、流量

  單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量,符號(hào)用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。

  7、流導(dǎo)

  表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。   U=Q/(P2- P1)

  8、壓力或壓強(qiáng)

  氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。

  9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

  壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號(hào):(Atm)。

  10、極限真空

  真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次,取其10次的平均值為極限真空值。

  11、抽氣速率

  在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)

  12、熱偶真空計(jì)

  利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。

  13、電離真空計(jì)(又收熱陰極電離計(jì))

  由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來(lái)測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

  14、復(fù)合真空計(jì)

  由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成,測(cè)量范圍從大氣~10-5Pa。

  15、冷陰極電離計(jì)

  陽(yáng)極筒的兩端有一對(duì)陰極板,在外加磁場(chǎng)作用,陽(yáng)極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來(lái)測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

  16、電阻真空計(jì)

  利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,通過(guò)電橋電路來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。

  17、麥克勞真空計(jì)(壓縮式真空計(jì))

  將待測(cè)的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。

  18、B-A規(guī)

  這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,延伸測(cè)量下限,可測(cè)超高真空。

  19、水環(huán)真空泵

  泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。

  20、往復(fù)真空泵

  利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。

  21、油封機(jī)械真空泵

  用油來(lái)保持密封的機(jī)械真空泵,可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。

  22、羅茨真空泵

  具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,此泵不可以單獨(dú)抽氣,前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。

  23、渦輪分子真空泵

  有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪,當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。

  24、油擴(kuò)散真空泵

  擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下,氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散,并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除。

  25、低溫真空泵

  利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。

  26、冷阱(水冷擋板)

  置于真空容器和泵之間,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

  27、氣鎮(zhèn)閥

  油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔,并裝上調(diào)節(jié)閥,當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置,空氣就通過(guò)此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。

  28、真空冷凍干燥

  真空冷凍干燥,也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍,使其含有的水份變成冰塊,然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。

  29、真空蒸鍍

  在真空環(huán)境中,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。

  30、真空干燥

  利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來(lái)干燥物品的方法。

  31、真空系統(tǒng)常用名稱

  (1)主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。

  (2)前級(jí)泵:用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。

  (3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。

  (4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時(shí),不能有效地利用前級(jí)泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵,就是維持泵。

 
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